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興發(fā)集團:投資3億元研發(fā)“超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”獲得國家科學(xué)技術(shù)進步二等獎

周文天中國證券報·中證網(wǎng)

  中證網(wǎng)訊(記者 周文天)1月10日,興發(fā)集團公眾號稱,集團投資3億多元、歷時10年研發(fā)成功、用于芯片制造的“超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”獲得國家科學(xué)技術(shù)進步二等獎。項目主要完成人、興發(fā)集團股份公司副總經(jīng)理、教授級高工李少平等在北京人民大會堂接受頒獎。

  興發(fā)集團稱,超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品,其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被美日韓等少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷,嚴重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展,是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。面對國家化學(xué)和電子工業(yè)重大戰(zhàn)略需求,興發(fā)集團作為全國精細磷化工龍頭企業(yè),從2006年初開始主動承擔起這項技術(shù)攻關(guān)重任。興發(fā)集團下屬的湖北興福電子材料有限公司與中國科學(xué)院過程工程研究所、武漢工程大學(xué)等單位聯(lián)合,經(jīng)過10多年持續(xù)研究攻關(guān),自主研發(fā)出高純黃磷與電子級磷酸制備的關(guān)鍵技術(shù),打破了高超純電子級磷酸產(chǎn)品的進口依賴。

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