興發(fā)集團(tuán):投資3億元研發(fā)“超高純電子級(jí)磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”獲得國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)
中證網(wǎng)訊(記者 周文天)1月10日,興發(fā)集團(tuán)公眾號(hào)稱,集團(tuán)投資3億多元、歷時(shí)10年研發(fā)成功、用于芯片制造的“超高純電子級(jí)磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)”獲得國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)。項(xiàng)目主要完成人、興發(fā)集團(tuán)股份公司副總經(jīng)理、教授級(jí)高工李少平等在北京人民大會(huì)堂接受頒獎(jiǎng)。
興發(fā)集團(tuán)稱,超高純電子級(jí)磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品,其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被美日韓等少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷,嚴(yán)重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展,是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。面對(duì)國家化學(xué)和電子工業(yè)重大戰(zhàn)略需求,興發(fā)集團(tuán)作為全國精細(xì)磷化工龍頭企業(yè),從2006年初開始主動(dòng)承擔(dān)起這項(xiàng)技術(shù)攻關(guān)重任。興發(fā)集團(tuán)下屬的湖北興福電子材料有限公司與中國科學(xué)院過程工程研究所、武漢工程大學(xué)等單位聯(lián)合,經(jīng)過10多年持續(xù)研究攻關(guān),自主研發(fā)出高純黃磷與電子級(jí)磷酸制備的關(guān)鍵技術(shù),打破了高超純電子級(jí)磷酸產(chǎn)品的進(jìn)口依賴。