華海清科：榮獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)

中證網(wǎng)訊（王珞）6月24日晚間，華海清科（688120）發(fā)布公告，近日，公司和清華大學(xué)共同完成的“集成電路化學(xué)機(jī)械拋光關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項(xiàng)目榮獲2023年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，公司董事長(zhǎng)、首席科學(xué)家路新春作為項(xiàng)目第一完成人獲得2023年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)證書(shū)。

據(jù)了解，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是先進(jìn)集成電路制造前道工序、先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)必需的關(guān)鍵制程工藝，公司以清華大學(xué)科技成果轉(zhuǎn)化的CMP技術(shù)成果為基礎(chǔ)，進(jìn)行CMP裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的核心技術(shù)研發(fā)，率先推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)12英寸CMP裝備，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)CMP裝備領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化。公司持續(xù)加大自主研發(fā)力度，推出多款CMP商業(yè)化機(jī)型，并依托穩(wěn)定的性能和良好的售后服務(wù)優(yōu)勢(shì)，批量進(jìn)入行業(yè)知名芯片制造企業(yè)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)到較高水平。

華海清科介紹，國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)是我國(guó)在科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的最高獎(jiǎng)項(xiàng)之一。本次獲獎(jiǎng)，既是對(duì)公司核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)在CMP領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新成果的充分肯定，也是對(duì)公司長(zhǎng)期推動(dòng)CMP裝備國(guó)產(chǎn)化的高度褒獎(jiǎng)。