萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體連續(xù)中標(biāo)特色工藝線項(xiàng)目
王珞
中國(guó)證券報(bào)·中證網(wǎng)
中證網(wǎng)訊(王珞)據(jù)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標(biāo)結(jié)果公告顯示,3月7日,嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備(SACVD)以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備(MOCVD)再次中標(biāo)某公司的特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標(biāo)項(xiàng)目。嘉芯迦能為萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體的子公司。
自2022下半年開(kāi)始,萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)多款設(shè)備,包含快速熱處理(RTP)、氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備(HDP-CVD)、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備(PECVD)、鋁銅金屬濺射設(shè)備(PVD)、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備(SACVD)以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備(MOCVD)等。