萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體連續(xù)中標(biāo)特色工藝線項(xiàng)目

　　中證網(wǎng)訊（王珞）據(jù)必聯(lián)網(wǎng)發(fā)布的中標(biāo)結(jié)果公告顯示，3月7日，嘉芯迦能的摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）再次中標(biāo)某公司的特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)招標(biāo)項(xiàng)目。嘉芯迦能為萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體的子公司。

　　自2022下半年開(kāi)始，萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)多款設(shè)備，包含快速熱處理（RTP）、氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)、高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（PVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）等。